在扫描电子显微镜中,Peltier冷却用于减少碳污染
Mia San Gabriel1, Dian Yu1, Iliya Mekuz2
1Department of Materials Science and Engineering, University of Toronto, 184 College St, Toronto, ON, Canada.
Micron (Oxford, England : 1993)
|June 21, 2023
概括
一种新的Peltier防污染装置 (PAC) 在扫描电子显微镜中显著降低了碳污染. 这种无维护的系统为延长的成像会话提供了卓越的性能,最大限度地减少了碳化合物积累.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 表面科学是一门学科.
- 显微镜技术 显微镜技术
背景情况:
- 碳污染是扫描电子显微镜 (SEM) 中的一个重要问题,原因是碳化合物分子.
- 传统的冷陷,通常使用液,需要维护,并可以随着时间的推移降低性能.
- 电子束辐射会加剧碳的积累,影响成像质量和分析.
研究的目的:
- 引入和评估一种新的Peltier防污染装置 (PAC) 用于SEM.
- 与传统方法相比,评估PAC在减少碳污染方面的有效性.
- 证明PAC在SEM中适合长期无维护运行.
主要方法:
- 在扫描电子显微镜中集成了一种新的Peltier防污装置 (PAC).
- 在相同的电子束照射参数下,测量了带有和没有PAC的碳污染厚度.
- 原子力显微镜 (AFM) 用于描述碳积聚的地形结构.
主要成果:
- 该PAC系统证明了电子束辅助碳积累的显著减少.
- 在面积扫描 (1.2 x 1.2 μm2) 中,碳污染厚度减少了79%以上.
- 对于静止点扫描,当PAC被启动时,碳污染量减少了两个数量级.
结论:
- 佩尔蒂埃防污染装置 (PAC) 是传统冷陷的有效替代品,用于减少SEM中的碳污染.
- PAC提供了一种无维护的解决方案,适合长时间的成像会议,而不会降低性能.
- 通过将碳化合物污染降至最低,实施PAC显著提高了SEM成像的质量和可靠性.
