使用等离子焦点在表面沉积的球形结构的Sn/Pb比率变化
M Ahmad1, M Akel2, Sh Al-Hawat2
1IBA Laboratory, Physics Department, Atomic Energy Commission of Syria, P.O. Box: 6091, Damascus, Syria.
Heliyon
|June 26, 2023
概括
(Sn) 和 (Pb) 在 (Si) 表面上的等离子聚焦装置沉积受基板加热的影响. 由于沉积-蒸发竞争,Sn/Pb比率因深度和微观结构而异.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 等离子体物理学的物理学
- 表面工程是什么?表面工程是什么?
背景情况:
- 等离子聚焦装置为材料沉积提供独特的等离子特性.
- 在沉积过程中,基板可以通过等离子离子轰炸来加热.
- 控制薄膜中的元素比例对于各种应用至关重要.
研究的目的:
- 使用等离子聚焦装置研究 (Sn) 和 (Pb) 在 (Si) 表面的沉积.
- 了解等离子体诱导的表面加热对元素沉积的影响.
- 分析影响沉积膜中Sn与Pb比率的因素.
主要方法:
- 使用等离子聚焦装置将Sn和Pb喷射和沉积到Si基板上.
- 改变了基板-阳极距离以控制表面加热.
- 分析了沉积的SnPb薄膜的元素组成和深度概况.
- 检查了表面微球形结构的形态.
主要成果:
- 由于等离子离子轰炸而导致的表面加热显著影响了Sn和Pb沉积.
- 沉积膜中Sn与Pb的比率不同于阳极的原始比率.
- Sn/Pb比率随着薄膜深度而变化,并受到微球结构的影响.
- 观察到由表面加热驱动的沉积和蒸发过程之间的竞争.
结论:
- 等离子焦点沉积参数,特别是基质-阳极距离,极大地影响了元素组成.
- 表面加热是控制沉积-蒸发平衡的关键因素,从而控制膜的元素比率.
- 微观结构的形成影响了Si上的SnPb膜中的局部元素分布.
相关概念视频
03:35Hybridization of Atomic Orbitals II
sp3d and sp3d 2 Hybridization
03:51Molecular Orbital Theory II
Molecular Orbital Energy Diagrams
02:37Metallic Solids
Metallic solids such as crystals of copper, aluminum, and iron are formed by metal atoms. The structure of metallic crystals is often described as a uniform distribution of atomic nuclei within a “sea” of delocalized electrons. The atoms within such a metallic solid are held together by a unique force known as metallic bonding that gives rise to many useful and varied bulk properties.
All metallic solids exhibit high thermal and electrical conductivity, metallic luster, and malleability. Many...
All metallic solids exhibit high thermal and electrical conductivity, metallic luster, and malleability. Many...