Optics express
|June 29, 2023
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概括

我们开发了一种低成本的方法,可以精确地测量衍射网格中的周期声. 激光干扰光刻法 (LIL) 网格显示出声,而扫描束干扰光刻法 (SBIL) 网格没有.

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