在271nm AlGaN 基深紫外线发光二极管中的光学功率降解机制
Optics express
|June 29, 2023
概括
基于酸 (AlGaN) 的紫外线C (UVC) LED 的降解与泄漏电流和缺陷的增加有关,从而降低光学功率. 随着时间的推移,p金属层的恶化进一步恶化了性能.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 光电学是指光电子产品.
- 半导体物理 半导体物理
背景情况:
- 基于酸 (AlGaN) 的紫外线C (UVC) 发光二极管 (LED) 对于杀菌和传感等应用至关重要.
- 了解LED降解机制对于改善设备寿命和可靠性至关重要.
研究的目的:
- 在长时间恒温和电流应力下研究基于AlGaN的UVCLED的降解机制.
- 为了将光电和热特性与设备老化过程中的微观结构变化相关联.
主要方法:
- 恒定温度和当前应力测试长达500小时.
- 二维 (2D) 热分布分析.
- 电流-电压 (I-V) 曲线测量和光功率监测.
- 聚焦离子束 (FIB) 和扫描电子显微镜 (SEM) 用于微观结构分析.
主要成果:
- 早期的退化显示出增加的泄漏电流和应力诱导的缺陷,导致更高的非辐射重组和光学功率降低.
- 48小时后,p-金属 (Cr/Al层) 恶化导致温度升高,进一步加快光学功率下降.
- 结合2D热成像和FIB/SEM,有效地确定了故障位置和机制.
结论:
- 该研究确定了AlGaN UVC LED中的关键降解途径,包括初始缺陷生成和随后的热失控.
- 综合热和显微分析为UVCLED快速故障分析提供了强大的方法.
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