在AlGaAs-on-Insulator光子波导中的表面缺陷效应
Optics express
|June 29, 2023
概括
甲在绝缘体 (AlGaAs-on-Insulator) 光子波导中的光学损失是由缺陷状态的自由载体吸收引起的. 氧化表面附近的EL2缺陷被确定为关键贡献者,影响设备性能.
科学领域:
- 光子学 是一个光子学.
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 半导体物理 半导体物理
背景情况:
- 在集成光学中,AlGaAs-on-Insulator (AlGaAsOI) 光子纳米波导非常重要.
- 小频段间隙吸收导致光学损失,限制了设备的效率.
- 缺陷状态,特别是在表面附近,被怀疑是这些损失的贡献者.
研究的目的:
- 为了研究AlGaAsOI光子纳米波导中的子频段间隙吸收的光学损失.
- 为了确定缺陷状态对光学吸收的性质和影响.
- 量化表面状态的关键参数,以改进设备设计.
主要方法:
- 对光学传播和吸收的数值模拟.
- 光学探针光谱测量吸收动态.
- 使用数值和分析模型分析实验数据.
主要成果:
- 通过缺陷状态观察到大量的自由载体捕获和释放.
- 测量表明EL2缺陷在氧化AlGaAs表面附近普遍存在.
- 提取了吸收系数,表面陷密度和载体寿命.
结论:
- 缺陷状态,特别是EL2显著导致AlGaAsOI波导中的子频段间隙光学损失.
- 了解和减轻这些与表面相关的缺陷对于高性能光子设备至关重要.
- 提取的参数为优化AlGaAsOI材料生长和设备制造提供了有价值的数据.


