概括
这项研究引入了芯片式数字全息干扰仪,用于精确测量透明材料的波面变形. 这种紧的系统提供了与传统方法相匹配的准确性,增强了简单性和广的视野.
科学领域:
- 光学和光子学 在光学和光子学.
- 干涉测量是干涉测量的方法.
- 纳米制造的纳米制造
背景情况:
- 数字全息干扰测量 (DHI) 是敏感的,但往往需要复杂的设置.
- 芯片上的光学系统提供了小型化和集成的优势.
- 测量波面变形对于材料表征和光学测试至关重要.
研究的目的:
- 开发和演示一个紧的芯片上数字全息干扰仪.
- 用于测量高空间分辨率的透明样品的波面变形.
- 为了评估芯片上系统的性能和准确性.
主要方法:
- 一个马赫-泽恩德干扰仪设计被调整为在芯片上集成,使用参考臂中的波导.
- 该系统的制造和测试用于测量波面变形.
- 通过分析模型玻璃样本和酸结构来验证性能.
主要成果:
- 芯片上的数字全息干扰仪成功测量了波面变形.
- 在一个大面积实现了高空间分辨率.
- 发现准确性与传统的马赫-泽恩德和白光干扰仪相当.
结论:
- 在芯片上开发的DHI提供了一种简单,紧,准确的方法来测量波面变形.
- 该系统提供了广的视野,使其适用于各种透明样本分析.
- 这项技术促进了科学和工业应用的集成光学计量学.
