毫米尺寸的步骤物体的纳米精度表面计量使用全级联联合成波长数字全息,使用一行一行全模式提取的光学频率
Optics express
|June 29, 2023
概括
这项研究引入了全级联链合成波长数字全息 (DH) 技术,用于精确的表面计量. 该技术在毫米尺寸的阶段物体上达到纳米级准确度,提升了表面概况测量能力.
科学领域:
- 光学和光子学 在光学和光子学.
- 计量学和测量科学 计量学和测量科学
背景情况:
- 数字全息 (DH) 为表面特征测量提供子波长精度.
- 在各种工业应用中,准确测量阶段物体至关重要.
研究的目的:
- 为了证明全级联的合成波长DH用于纳米精度表面计量学.
- 测量毫米大小的阶梯物体,以高的轴准确度和范围.
主要方法:
- 利用300种模式的光学频率 (OFC) 与顺序波长提取.
- 产生了299个合成波长,与一个单一的光学波长相结合,用于级联链路.
- 采用了一个10GHz间隔,3.72THz跨度的电光调制器OFC.
主要成果:
- 实现了一条细度大范围的级联链,覆盖范围为1.54微米至29.7毫米.
- 确定了分毫米和毫米步骤差异,轴不确定性为6.1nm.
- 在最大 14.85 毫米的轴距离范围内运行.
结论:
- 全级联合成波长DH是有效的纳米精度表面计量学.
- 该方法为在广泛范围内测量阶段物体提供了高精度.
- 这种技术提升了复杂几何形状的表面造型测量能力.
