一种通用的地表转移技术,用于异质集成.

科学领域:

• 光学和光子学 在光学和光子学.
• 材料科学 材料科学 材料科学
• 纳米技术 纳米技术

背景情况:

• 超表面使光学波面工程能够使用亚波长纳米结构.
• 当前的超表面受到厚厚的传统基板的限制,这些基板抵消了小型化的好处,并影响了光学性能.
• 将超表面制造与应用基板的分离对于更广泛的整合至关重要.

研究的目的:

• 开发一种通用技术,将元表面转移到任意基板上.
• 为了克服大型基板在地表应用中的局限性.
• 为了使超薄和独立的元表面的制造.

主要方法:

• 开发了一种聚合物辅助的转移技术,以将金属表面制造与最终基板脱.
• 惠根斯的元表面 (120纳米厚) 被制造和转移.
• 证明了将其转移到100纳米厚的独立化 (SiNx) 膜.

主要成果:

• 在转移后,保持了优良的结构完整性和光学性能 (衍射有限的聚焦).
• 实现了迄今为止最薄的介电金属.
• 该技术成功地将元表面转移到超薄的独立膜上.

结论:

• 聚合物辅助转移技术为高表面制造中的基板限制提供了通用解决方案.
• 这种方法使前所未有的小型化成为可能,并为新的超表面集成开辟了道路.
• 该方法促进了级联/多层元表面和与电子/光子设备的异质集成.