一个用于子THz和THz应用的石墨烯/h-BN MEMS变频器
Piotr A Dróżdż1, Maciej Haras1,2, Aleksandra Przewłoka1,3
1CENTERA Laboratories, Institute of High Pressure Physics Polish Academy of Sciences, Sokołowska 29/37, 01-142 Warsaw, Poland. pdrozdz@unipress.waw.pl.
Nanoscale
|June 30, 2023
概括
研究人员开发了一种新的电子变量电容器,使用2D元材料,如石墨烯,用于太赫兹系统. 这种可调节电容为未来的太赫兹应用提供高性能和CMOS兼容性.
科学领域:
- 物理 物理学 物理
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 电气工程 电气工程
背景情况:
- 太赫兹 (THz) 系统需要快速的,可调节的电子元件,如varactors.
- 现有的THz设备往往缺乏必要的可调性或与标准制造工艺的兼容性.
研究的目的:
- 介绍一款新型电子变量电容器的设计,制造过程和特征.
- 探索2D元材料的使用,特别是石墨烯 (GR) 和六角化 (h-BN),用于THz应用.
主要方法:
- 在/化基板上用底部金属电极制造状结构.
- 在基板上沉积PMMA/GR/h-BN层.
- 应用电压来诱导二维材料层的曲,改变电容.
主要成果:
- 使用石墨烯和六角化的可变电容器装置的演示.
- 通过静电曲二维材料层来实现电容的高可调性.
- 制造过程与补充性金属氧化物半导体 (CMOS) 技术兼容.
结论:
- 开发的毫米尺寸变量电容器显示了未来电子和太赫兹技术的前景.
- 建议与介电棒波导相结合,用于创建THz相移器.
- 该设备为THz频段应用提供了可调节的解决方案.


