什么MEMS研究和开发可以从生产环境中学习
Malte Florian Niekiel1, Jana Marie Meyer1, Hanna Lewitz2
1Fraunhofer Institute for Silicon Technology ISIT, Fraunhoferstr. 1, 25524 Itzehoe, Germany.
Sensors (Basel, Switzerland)
|July 8, 2023
概括
适应工业制造方法可以加速微电子机械系统 (MEMS) 研究. 将重点从设备制造转移到工艺开发是高效MEMS研究和生产的关键.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 工程 工程师 工程师 工程师
- 纳米技术 纳米技术
背景情况:
- 微电子机械系统 (MEMS) 开发面临的挑战是由于设备设计和制造过程之间的复杂相互作用.
- 工业界为高效的MEMS批量生产采用各种工具和方法,但学术研究犹不决地采用它们.
研究的目的:
- 研究行业衍生工具和方法在以研究为重点的MEMS开发中的适用性.
- 展示在学术研究环境中调整生产方法的好处.
主要方法:
- 对MEMS制造业的行业最佳实践进行文献审查和视角分析.
- 案例研究说明了这些方法在开发磁电MEMS传感器中的应用.
主要成果:
- 适应量产工具和方法即使在研究环境中也是有益的.
- 转向过程开发,而不是仅仅是设备制造,对于进步至关重要.
结论:
- 学术MEMS研究可以从采用工业生产方法学中显著受益.
- 这种方法促进了MEMS设备的高效开发,维护和制造工艺的进步.
