一种设计方法,以减少微机加工可变形镜中的粘合组件引起的压力和扭曲

科学领域:

• 光学工程是指光学工程.
• 材料科学 材料科学 材料科学
• 固体力学 固体力学是什么

背景情况:

• 执行器粘合到可变形镜面板上通常会引起应力.
• 这些应力导致不必要的地形,降低光学性能.
• 尽量减少压力诱导的地形对于先进的光学系统至关重要.

研究的目的:

• 介绍可变形镜的新型设计,以减轻执行器粘附造成的压力.
• 展示一种方法来减少DM组件中不必要的地形.
• 通过模拟和实验验证拟议设计的有效性.

主要方法:

• 应用了St. Venant的原理来重新安置粘合剂接头.
• 开发了一个设计,其特点是从面板延伸到粘合剂接头的纤细柱子.
• 用于制造的在绝缘体上晶片和深度反应性离子蚀刻.
• 进行模拟和实验,以评估压力减轻和地形减轻.

主要成果:

• 新设计显著减少了由粘合应力引起的变形.
• 测试结构上的压力诱导的地形被减少了50的因素.
• 一个包含该设计的功能性原型电磁DM已成功制造并启动.
• 验证了将粘合剂接头从主要镜面移开的有效性.

结论:

• 拟议的设计有效地减少了可变形镜中的压力诱导的地形.
• 这种方法为依赖于粘合粘合执行器的DM组件提供了显著的改进.
• 这项创新对各种类型的可变形镜具有广泛的适用性,提高了光学质量.