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制造大面积的微六角立方体角反射器在三轴线性超精密刀具上
Senbin Xia1,2, Ziqiang Yin1,2, Cheng Huang1
1State Key Laboratory of Precision Electronic Manufacturing Technology and Equipment, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, China.
Micromachines
|July 8, 2023
概括
一种新的钻石转移切割 (DSC) 方法使得使用三轴线性超精密车床进行量产六角立方角反射器 (HCCR). 这大大减少了高反射率微光学的加工时间和成本.
科学领域:
- 光学和光子学 在光学和光子学.
- 先进制造先进制造 制造先进制造
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 六角立方体角反射器 (HCCR) 提供了优越的反射率,但由于尖的边缘,造成加工挑战.
- 传统的钻石切割和三轴线性车床被认为不适合HCCR制造.
研究的目的:
- 提出和验证一种新的加工方法,用于在三轴线性超精密车床上制造HCCR.
- 为了优化大规模生产的过程,专注于工具设计,工具路径和效率.
主要方法:
- 开发和优化用于HCCR制造的专用钻石工具.
- 建议和优化工具路径,以提高工具寿命和加工效率.
- 对钻石转移切割 (DSC) 方法进行了深入的理论和实验分析.
主要成果:
- 大面积HCCR (300μm结构大小,10 × 12 mm2面积) 在三轴线性车床上成功加工.
- 在立方体角面上实现了高度均的阵列,表面粗度 (Sa) 在10nm以下.
- 将加工时间缩短到19小时,从95小时显著改善.
结论:
- 钻石转移切割 (DSC) 方法是一种可行且高效的技术,用于在三轴线性车床上制造HCCR.
- 这种进步降低了生产门和成本,为HCCR的更广泛的工业应用铺平了道路.
- 优化工具设计和工具路径对于高效,高质量的微光阵列制造至关重要.
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