有效的化学提升空中道GaN在形图案蓝宝石基板上的有效化学提升

科学领域:

• 材料科学 材料科学 材料科学
• 半导体物理 半导体物理
• 化学工程是化学工程的重要组成部分.

背景情况:

• 化 (GaN) 是光电子和电子设备的关键材料.
• 目前用于GaN层分离的方法可能是低效或昂贵的.
• 有图案的蓝宝石基板 (PSS) 常用于GaN表层.

研究的目的:

• 为GaN层开发一种快速高效的化学提升 (CLO) 方法.
• 在GaN和梯形图案蓝宝石基板 (TPSS) 之间制造一个空气道结构.
• 为了研究GaN模板的结构和光学特性,使用气道.

主要方法:

• 在现场碳化一个光电阻层,以创建一个空气道.
• 在TPSS上使用金属有机化学蒸气沉积 (MOCVD) 选择性GaN表轴侧增长.
• 用X射线衍射 (XRD),光发光 (PL) 和拉曼光谱来进行材料特征.
• 化学提升 (CLO) 使用氧化 (KOH) 溶液.

主要成果:

• 在GaN和TPSS之间成功制造了一个空中道结构.
• 空气道结构在GaN上和碳化后保持完整.
• XRD,PL (364 nm峰值) 和拉曼光谱证实了GaN表皮质的质量.
• 通过CLO实现了GaN模板与TPSS的高效分离.

结论:

• 开发的空气道制造方法使GaN层的快速CLO成为可能.
• 这种技术为成本效益高的GaN模板生产提供了一个有前途的方法.
• 该方法适用于基于GaN的设备制造,需要去除基板.