通过多步,自行对齐的石版和电压成型来提高微型轮的厚度均性
Huan Wang1,2, Jing Xie1,2, Tao Fan1
1Institute of Microelectronics of the Chinese Academy of Sciences, Beijing 100029, China.
Micromachines
|July 8, 2023
概括
一种新的多步制造方法显著提高了45.7%的电成型微型轮的厚度均性. 这种技术还可以降低表面粗度,克服微电成型设备的关键局限性.
科学领域:
- 微型制造业的微型制造
- 电压成型 电压成型
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 在电成型的微金属设备中,厚度不均是一个重大挑战.
- 微型轮是各种微型设备中的关键组件,因此它们的精确制造是至关重要的.
研究的目的:
- 提出和验证一种新的制造方法,以提高电成型微型轮的厚度均性.
- 通过模拟研究光电阻厚度对均性的影响.
主要方法:
- 模拟分析以研究光电阻厚度对电流密度边缘效应的影响.
- 开发一个多步骤的,自行调整的光刻和电压成型工艺.
- 交替 lithography 和电压成型步骤,以保持光电阻厚度.
主要成果:
- 模拟表明,增加光电阻的厚度会减少由于电流密度降低的边缘效应而导致的不均性.
- 与传统方法相比,拟议的多步方法提高了45.7%的微变速器厚度均性.
- 在中间轮区域的表面粗度减少了17.4%.
结论:
- 多步,自我调整的光刻和电成型方法有效地提高了厚度的均性,并减少了微型轮的粗性.
- 这种方法为生产高质量的电成型微金属设备提供了可行的解决方案.
