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Updated: Jul 24, 2025

Ohmic Contact Fabrication Using a Focused-ion Beam Technique and Electrical Characterization for Layer Semiconductor Nanostructures

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Published on: December 5, 2015

关于用于电子包装的超薄/狭窄结合Cu条的制造技术的研究

Jun Cao¹, Junchao Zhang¹, Baoan Wu²

¹School of Mechanical and Power Engineering, Henan Polytechnic University, Jiaozuo 454000, China.

|July 8, 2023

概括

滚动和回火显著改变铜 (Cu) 条的特性. 较高的降解率增加了强度,但降低了可塑性,而化则改进了微观结构并优化了电阻.

科学领域:

材料科学材料科学材料科学
金工业是金工业的一个方面.
物理金学物理金学

背景情况:

铜 (Cu) 条在各种工业应用中至关重要.
了解热力学加工对Cu性能的影响对于材料优化至关重要.

研究的目的:

为了研究滚动减速率和回火温度对Cu条的微观结构和机械/电气性能的影响.
为了确定最佳的加工参数,以提高Cu条的性能.

主要方法:

高精度轮机用于变形.
聚焦离子束 (FIB) 和扫描电子显微镜 (SEM) 用于微观结构分析.
强度和电阻测试仪用于财产评估.

主要成果:

增加的滚动减速精炼了颗粒,增强了拉伸强度 (高达425.5MPa),但延长率下降 (至0.91%).
在400°C的火恢复了柔性 (延长到24.73%) 并降低了强度 (到220.36 MPa).
阻力随着回火而下降,在200-300°C之间达到3.60 × 10-8 Ω·m的最低值.

结论:

滚动参数和热温度对Cu条的微观结构,强度,延展性和电阻性具有关键影响.
达到理想的Cu带特性,最优的火温度和张力范围 (6-8g) 是必不可少的.

关键词:

烧焦的烧焦方式粘合 Cu 条带粘合 Cu 条带延伸延伸延伸延伸延伸电阻性电阻性电阻性滚动滚动的滚动拉力强度拉力强度拉力强度

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