音频应用的MEMS传感器结构和接口的最新趋势:一篇综述
Alessandro Gemelli1, Marco Tambussi1, Samuele Fusetto1
1Department of Electrical, Computer and Biomedical Engineering, University of Pavia, 27100 Pavia, Italy.
Micromachines
|July 8, 2023
概括
微电机系统 (MEMS) 技术使得像MEMS麦克风和扬声器这样的智能,紧的声学传感器成为可能. 本次审查涵盖了它们的传导原理,性能趋势和接口集成电路 (IC).
科学领域:
- 声学传感器 声学传感器 声学传感器
- 微电机系统 (MEMS) 是指微电机系统.
背景情况:
- MEMS技术显著推进了声传感器的开发.
- 这导致了用于各种应用的智能,低成本和紧的音频系统.
研究的目的:
- 审查MEMS麦克风和扬声器的最新技术.
- 分析集成的声音传导原理和性能趋势.
- 为了解决MEMS声学设备的接口集成电路 (IC).
主要方法:
- 关于MEMS声传感器技术的文献综述.
- 分析当前的绩效进展和趋势.
- 检查MEMS麦克风和扬声器的集成电路解决方案.
主要成果:
- 在音响传感器设计中,MEMS技术提供了显著的优势.
- 最近的进步显示了MEMS麦克风和扬声器的性能提高和更广泛的应用.
- 接口IC对于信号处理和设备驱动至关重要.
结论:
- MEMS技术是下一代声学系统的关键推动因素.
- 在MEMS和集成电路方面的持续创新将推动进一步的进步.
- 对MEMS声学设备及其接口的全面了解至关重要.


