使用SOI技术制造的MEMS陀螺仪的敏感元件的开发和研究

Danil Naumenko1, Alexey Tkachenko1, Igor Lysenko1

  • 1Design Center of the Microelectronic Component Base for Artificial Intelligence Systems, Southern Federal University, Taganrog 347922, Russia.

Micromachines
|July 8, 2023
PubMed
概括

本研究详细介绍了微电子机械陀螺仪的设计和制造.