对于超高频传感器的PZT薄膜上的微观结构的修改
Chunlong Fei1,2, Zeyu Chen2, Wayne Ming Fong2
1Key Laboratory of Artificial Micro- and Nano-structures of Ministry of Education & School of Physics and Technology, Wuhan University, Wuhan 430072, China.
Ceramics international
|July 10, 2023
概括
多孔氧化酸 (PZT) 薄膜是使用改性化学溶液沉积方法制造的. 通过聚烯 (PVP) 含量和回火温度控制孔隙性,优化了超声波传感器的电气性能.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 陶工程 陶工程
- 声学工程 声学工程
背景情况:
- 多孔的硫酸酸 (PZT) 薄膜为高频超声波传感器提供了潜力.
- 定制电气性能是改进传感器电气和声学匹配的关键.
研究的目的:
- 使用改性化学溶液沉积 (CSD) 方法制造多孔的PZT薄膜.
- 调查聚乙烯 (PVP) 含量,分子量和回火温度对PZT薄膜性能的影响.
- 在传感器应用中,将薄膜孔隙与电气特性相关联.
主要方法:
- 使用PVP作为孔泡剂通过CSD制造多孔PZT薄膜.
- 系统变化PVP含量,分子量和回火温度.
- 制造片的晶相,微观结构和电性质的表征.
主要成果:
- 成功合成了微米范围厚度的多孔PZT薄膜.
- 薄膜特性对PVP含量,分子量和化条件敏感.
- 观察到薄膜孔隙度和电气性能之间存在强烈的相关性.
结论:
- 使用PVP的CSD方法对于创建可调节的多孔PZT膜是有效的.
- 透度显著影响PZT膜的电气特性.
- 优化的多孔PZT薄膜对先进的超声波传感器应用有希望.
