改进了用于分散干涉测量的数据处理算法,使用了五秒激光
Tao Liu1, Jiucheng Wu1, Amane Suzuki1
1Precision Nanometrology Laboratory, Department of Finemechanics, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan.
Sensors (Basel, Switzerland)
|July 11, 2023
概括
新的数据处理算法显著减少了femtosecond激光分散干扰的死区. 这提高了短距离绝对距离测量的精度.
科学领域:
- 光学和光子学 在光学和光子学.
- 计量学 计量学 计量学
- 激光干扰计是指激光干扰计.
背景情况:
- 使用分散式干扰测量的短距离绝对距离测量受到接近零位置的无法测量的死区的限制.
- 基于五秒激光的分散干扰仪在最小化这个死区方面面临着挑战,这对于毫米级精度至关重要.
研究的目的:
- 提出用于分散干涉测量的新型数据处理算法,以缩短死区.
- 在短距离绝对距离应用中提高测量精度.
主要方法:
- 开发了一种光谱边缘算法和一个组合算法 (光谱边缘+过剩分数法).
- 拟议算法的模拟,以评估死区缩短和准确性.
- 使用构建的分散干扰仪设置进行实验验证.
主要成果:
- 拟议的算法有效地缩短了不可测量的死区.
- 与传统方法相比,死亡区的规模减少到了一半.
- 结合的算法显示了测量准确性的进一步改善.
结论:
- 光谱边缘和组合算法为最小化秒激光分散干扰的死区提供了可行的解决方案.
- 这些算法提高了毫米级短距离绝对距离测量的精度.
- 结合的算法提供了卓越的准确性,使其适用于苛刻的计量应用.


