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Lei Jiang1,2, Rui Xue1, Ding Liu1,2
1School of Automation and Information Engineering, Xi'an University of Technology, Xi'an 710048, China.
这项研究引入了一种使用多式联络数据融合来检测单晶生长过程中节点损失的新方法. 该方法准确地识别缺陷,提高半导体制造中的质量控制.
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