使用微电子机械系统共振器的太赫兹探测器
Chao Li1, Ya Zhang1, Kazuhiko Hirakawa2,3
1Institute of Engineering, Tokyo University of Agriculture and Technology, Koganei-shi 184-8588, Japan.
Sensors (Basel, Switzerland)
|July 14, 2023
概括
双紧的微电子机械系统 (MEMS) 束共振器提供高度敏感的太赫兹 (THz) 检测. 它们的频率变化与吸收的THz辐射成比例,使得能够精确地测量这种辐射.
科学领域:
- 物理 物理学 物理
- 电气工程 电气工程
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 微电子机械系统 (MEMS) 共振器具有高质量 (Q-) 因素,可以进行敏感的频率测量.
- 探测特拉赫兹 (THz) 辐射需要敏感和快速的方法.
研究的目的:
- 提供使用双 MEMS 束共振器的 THz 波罗米特的全面概述.
- 详细介绍这些THz探测器的工作原理,读取机制,检测速度和灵敏度.
主要方法:
- 审查了用于THz吸收的MEMS共振器的基本工作原理.
- 分析频率转移检测作为一个读取机制.
- 检查性能指标,包括检测速度和灵敏度.
主要成果:
- 由于温度变化引起的频率变化,MEMS共振器对THz辐射具有很高的敏感性.
- 频率转移与吸收的THz功率成正比,因此可以量化.
- 讨论了各种提高绩效的策略.
结论:
- 双紧的MEMS光束共振器是快速和灵敏的THz检测的有希望的平台.
- 频率转移方案为THz计量提供了一个强大的方法.
- 在MEMS共振器设计的进一步改进可以提高THz探测器的性能.
