在纳米尺度上对Au111) /SiO2基质的SiO (OEt) 沉积的结构分析使用聚焦电子束诱导沉积
Nigel J Mason1, Maria Pintea1, István Csarnovics2
1School of Physical Sciences, University of Kent, Ingram Building, Room 201, Canterbury CT2 7NZ, United Kingdom.
ACS omega
|July 17, 2023
概括
聚焦电子束诱导沉积 (FEBID) 创造了含有的纳米结构. 沉积物的组成和高度受到前体气体和基质特性的影响.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术纳米技术
- 表面科学是一门学科.
背景情况:
- 聚焦电子束诱导沉积 (FEBID) 是一种多功能纳米制造技术.
- 控制沉积的纳米结构的组成和形态对于先进的应用至关重要.
- 前体分子和基板表面之间的相互作用显著影响沉积结果.
研究的目的:
- 使用FEBID.研究含纳米结构的沉积.
- 分析沉积材料的元素组成和结构性质.
- 了解基质特性和沉积条件对FEBID过程的影响.
主要方法:
- 使用GeminiSEM进行聚焦电子束诱导沉积 (FEBID).
- 沉积的柱子和有控制尺寸的线形纳米结构 (高度为9nm至1μm,宽度为5nm至0.5μm).
- 通过元素分析和表征表面形态学分析了纳米结构组成.
主要成果:
- 实现了含有的纳米结构,Si/O/C比率各不相同,较年轻的沉积物中碳含量下降.
- 观察到的Si含量在10-15原子%之间,当在零度以下的温度下沉积Si(OEt) 4时.
- Au(111) 基质影响沉积,导致氧气比增加和纳米沉积高度降低.
结论:
- FEBID 能够制造具有可调节组合的基于的纳米结构.
- 基质表面特征,如Au{111}上的特征,在决定沉积物的特性方面起着至关重要的作用.
- 优化沉积参数和前体选择对于实现所需的纳米结构特征至关重要.
