非线性对焦定位器用于微米尺度目标对齐

Optics express
|July 21, 2023
PubMed
概括

这项研究引入了一种具有微米级精度的新型目标定位器系统. 它的非线性检测方案提高了激光微制造和等离子加速器应用的灵敏度.