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Updated: Jul 22, 2025
08:44
Fabrication and Testing of Photonic Thermometers
Published on: October 24, 2018
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概括
一种新的方法使用光子学对马赫-泽恩德干扰仪进行了无热化,提高了密集波长分割复杂化的性能. 这种技术增强了设备的强度,可以应对制造变化.
科学领域:
- 光子学 是一个光子学.
- 集成光学 集成光学 集成光学
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 马赫-泽恩德干扰仪 (MZIs) 在光子集成电路中至关重要.
- 温度波动 (athermalization) 影响MZI性能,特别是在密集波长分割多重复合 (DWDM) 系统中.
- 光子平台提供了可扩展性,但需要精确的热管理.
研究的目的:
- 在光子平台上对不平衡的MZI展示一种新的脱热技术.
- 分析用于DWDM应用的制造设备的晶圆尺度性能.
- 提出一种方法来提高设备的强度,以应对制造变化.
主要方法:
- 使用 (Si) 和化 (SiN) 层在MZIs中产生路径不平衡.
- 在300毫米的光子造平台上制造设备.
- 对奇偶偶通道 (de) 间接器的晶圆尺度性能进行分析.
主要成果:
- 对于不平衡的MZIs来说,表现了加热的方法.
- 该技术成功应用于有限脉冲响应过器,包括阵列波导网格.
- 对DWDM (de) 交叉应用的设备性能分析.
结论:
- 拟议的非热化技术对光子平台上的不平衡MZI有效.
- 该方法在提高DWDM系统中光子设备的稳定性和性能方面具有前景.
- 建议进一步改进以提高设备对制造变化的弹性,同时保持不热性能.
