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Updated: Jul 22, 2025
10:08
Fabrication of Large-area Free-standing Ultrathin Polymer Films
Published on: June 3, 2015
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薄膜PMUT:对40多年的研究工作进行了回顾
Kaustav Roy1,2, Joshua En-Yuan Lee3, Chengkuo Lee1,2
1Department of Electrical and Computer Engineering, National University of Singapore, Singapore, 117583 Singapore.
Microsystems & nanoengineering
|July 24, 2023
概括
本综述总结了薄膜压电微超声设备 (PMUT) 的进展情况,突出了其44年发展,商业化和全球研究贡献. 它作为PMUT设计,制造和应用的指南.
科学领域:
- 微系统工程 微系统工程
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 声学 声学 在声学方面
背景情况:
- 薄膜压电微超声波设备 (PMUT) 有44年的研究历史.
- 来自四大洲70多个机构的重大全球贡献使PMUT的设计,制造和功能进步.
- 目前有三家主要公司在批量销售薄膜PMUT.
研究的目的:
- 提供关于薄膜PMUT研究进展的简洁和全面的回顾.
- 为了教育读者关于全球PMUT前景,设计原则,制造方法和应用.
- 根据专业知识和文献调查,提供未来的预测.
主要方法:
- 严格调查,审查和对现有研究的看法.
- 文献调查和作者对未来预测的专业知识.
- 编制压电材料和应用的比较图表.
主要成果:
- 详细概述PMUT的开发,商业化和全球研究格局.
- 讨论管理设计原则,制造技术和新的PMUT设计.
- 用比较材料图表对PMUT应用进行分类和讨论.
结论:
- 这篇评论作为了解薄膜PMUT的时间效率指南.
- 它为MEMS设计人员提供了对材料选择和应用目标的见解.
- 介绍了PMUT领域的未来趋势和预测.
