MEMS

Xuan Wang1,2, Junfeng Han1,2, Chen Wang1,2

  • 1Key Laboratory of Space Precision Measurement Technology, Chinese Academy of Sciences, Xi'an 710119, China.

Micromachines
|July 29, 2023
PubMed
概括

一个新的微电子机械系统 (MEMS) 微镜模型通过改进扫描和捕获来增强卫星激光通信. 这提高了卫星互联网星座的可靠性,尽管有指向不准确和微振动.