概括
我们开发了一种新方法,使用银氧和氧化中的纳米孔阵列创建等离子波器. 这些中红外过器实现了光学过器块和红外成像器的高传输效率.
科学领域:
- 光学和光子学 在光学和光子学.
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术 纳米技术
背景情况:
- 使用亚波长纳米孔阵列的等离子过器提供了一种在单个光刻步骤中制造多种传输带的方法.
- 现有的方法需要进一步开发,以实现高效的制造和集成到光学系统中.
研究的目的:
- 开发一种改进的制造方法,用于银的纳米孔阵列.
- 为了展示光学波器块和红外成像仪的中红外等离子波器.
主要方法:
- 用银制造纳米孔阵列,使用薄的氧化层作为封闭层和硬面罩.
- 在基板上展示金和银等离子体过器.
- 对于2-7μm波长范围的过器的设计和表征.
主要成果:
- 成功制造了银色纳米孔阵列,使用了新氧化层.
- 经过证明的中红外线等离子波器,峰值传输效率约为70%.
- 过器适合集成到光学过器块和红外成像系统中.
结论:
- 开发的制造方法可以高效地生产等离子体纳米孔阵列.
- 展示的过器在中红外应用中表现出高性能.
- 这种技术对未来的集成光学和成像系统具有前景.
