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Updated: Jul 20, 2025
07:51
Fabrication of Silica Ultra High Quality Factor Microresonators
Published on: July 2, 2012
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概括
我们为光子集成电路 (PIC) 开发了一个完全蚀刻的酸 (LN) 平台. 这一突破使得超低损耗和紧电路大小成为可能,进步光通信和量子技术.
科学领域:
- 光子学和材料科学 材料科学
- 集成光学 集成光学 集成光学
- 酸尼奥酸盐光子学 酸尼奥酸盐光子学
背景情况:
- 酸 (LN) 对于通信,传感,量子光学和计算中的光电子电路至关重要.
- 在绝缘体 (LNOI) 上部分蚀刻的 LN 是先进的紧光子集成电路 (PIC).
- 由于当前LN波导的部分蚀刻,整合密度的限制仍然存在.
研究的目的:
- 为了展示一个完全蚀刻的尼酸盐 (LN) 光子集成电路 (PIC) 平台.
- 为了同时实现超低的传播损失和紧的电路大小.
- 展示平台对小型化,多功能集成系统的潜力.
主要方法:
- 制造具有光滑侧墙的完全蚀刻的LN波导.
- 波导传播损失和曲半径的表征.
- 展示了紧的微环共振器和单离子微组合器.
主要成果:
- 在40微米的曲半径下,实现了8.5dB/m的超低传播损失.
- 经过证明的微环共振器具有高Q/V的8.7 × 10^4 μm^-3.
- 展示了具有500 GHz超高重复率的单离子微.
结论:
- 完全嵌入式的LN PIC平台提供了前所未有的低损耗和紧尺寸的集成.
- 这个平台显著提高了小型化和多功能光子系统的潜力.
- 展示的功能为光通信,传感和量子技术的先进应用铺平了道路.
