2D2D.

Nam Thanh Trung Vu1, Leyi Loh1,2, Yuan Chen3

  • 1Physics Department, National University of Singapore, Singapore 117551, Singapore.

ACS nano
|August 11, 2023
PubMed
概括

这项研究引入了导电性原子力显微镜,用于快速,高对比度的2D半导体中单个原子杂质的成像. 这种技术使得精确的缺陷识别对于先进的半导体开发至关重要.