对基于GaN的绿色微型LED阵列的激光升降过程中的光电性能进行比较分析
Chuanbiao Liu1,2, Feng Feng3, Zhaojun Liu2,3
1Harbin Institute of Technology, Harbin 150006, China.
Nanomaterials (Basel, Switzerland)
|August 12, 2023
概括
激光升降 (LLO) 通过提高光输出功率和外部量子效率来提高绿色化 (GaN) 微LED性能. 这一至关重要的过程优化了微型LED以实现先进的显示集成,而不会损坏GaN膜或蓝宝石基板.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 光电学是指光电子产品.
- 半导体设备 半导体设备
背景情况:
- 微LED显示器提供了卓越的性能,但面临着整合挑战.
- 基于化 (GaN) 的微型LED对于高质量的显示器至关重要.
- 激光提升 (LLO) 是传输薄膜的一个关键技术.
研究的目的:
- 调查LLO对基于GaN的绿色微型LED阵列的影响.
- 分析LLO后的光电性质和结构完整性.
- 评估LLO适合微型LED显示器集成的情况.
主要方法:
- 在有图案的蓝宝石基板 (PSS) 上,LLO应用于20 × 38微米绿色GaN微型LED阵列.
- 扫描电子显微镜 (SEM) 用于结构完整性的评估.
- 综合的光电特性,包括光输出功率 (LOP),外部量子效率 (EQE),电光谱和电流-电压 (I-V) 测量.
主要成果:
- LLO保存了GaN膜和蓝宝石基板没有损坏.
- 在LLO后观察到LOP和EQE的显著改善.
- 通过轻微的峰值波长转移提高了颜色纯度,并在半最大时 (FWHM) 将全宽度减少约10%.
- 前向电压保持不变,为2.17V.
结论:
- LLO是一种有效的过程,可以提高微型LED的性能和颜色质量.
- 该技术促进了高效的光提取,并提高了显示器集成潜力.
- LLO在推进微型LED显示技术方面展示了其价值.


