评估氧等离子聚焦离子束 (O-PFIB) 蚀刻在聚烯表面的质量,使用二次电子高光谱成像

Nicholas T H Farr1,2, Maciej Pasniewski3,4, Alex de Marco5,6

  • 1Department of Materials Science and Engineering, University of Sheffield, Sir Robert Hadfield Building, Mappin Street, Sheffield S1 3JD, UK.

Polymers
|August 12, 2023
PubMed
概括

聚焦离子束扫描电子显微镜 (FIB-SEM) 推进了聚合物分析. 这项研究使用二次电子高光谱成像 (SEHI) 揭示聚合物上的离子表面相互作用,增强FIB-SEM的表征.