基于ZnO薄膜的红外传感器定位系统
Chia-Yu Tsai1, Yan-Wen Lin1, Hong-Ming Ku2
1Department of Materials Engineering, National Pingtung University of Science and Technology, Pingtung 912, Taiwan.
Sensors (Basel, Switzerland)
|August 12, 2023
概括
这项研究介绍了基于MEMS的新型红外传感器,使用氧化 (ZnO) 热电膜. 这些传感器表现出与距离相对的逆指数电压响应,使得定位系统能够准确定位.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 电气工程 电气工程
- 传感器技术 传感器技术
背景情况:
- 热电红外传感器对于各种应用至关重要.
- 开发高效和成本效益的传感器制造方法是一个持续的挑战.
- 氧化 (ZnO) 为传感器开发提供了有前途的火电性能.
研究的目的:
- 使用ZnO热电薄膜制造和表征基于MEMS的红外传感器.
- 为了研究这些传感器的电压响应作为距离的函数.
- 实施和评估利用开发的红外传感器的定位系统.
主要方法:
- 使用MEMS技术在基板上制造悬浮ZnO热电薄膜.
- 在500°C下4小时对ZnO薄膜进行火,以提高反应能力.
- 在不同的基板厚度 (1微米) 和传感范围 (30厘米) 中对传感器电压响应进行实验性评估.
- 使用LabVIEW软件实现一个三传感器定位系统.
主要成果:
- 电压信号表现出与传感距离的反向指数关系.
- 制造的传感器在测试范围内表现良好.
- 基于LabVIEW的定位系统在估计位置和实际位置之间取得了很好的一致性.
- 化提高了火电 ZnO 薄膜的响应性.
结论:
- 开发的基于MEMS的热电红外传感器显示出精确遥感的潜力.
- 反向指数电压与距离的关系是定位应用的关键特征.
- 这项研究为推进MEMS热电红外传感器技术提供了宝贵的参考.
