纳米打印的有图案的蓝宝石与二氧化阵列,用于高效的基于InGaN的绿色迷你LED
Optics letters
|August 15, 2023
概括
纳米打印的有图案的蓝宝石与基阵列 (PSSA) 增强了绿色的微型发光二极管 (LED). 这种新型基板可以减少缺陷,提高光输出功率和效率,从而改善显示技术.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 光电学是指光电子产品.
- 纳米技术 纳米技术
背景情况:
- 化 (InGaN) 迷你发光二极管 (LED) 对显示器至关重要.
- 传统的图案蓝宝石基板 (PSS) 在缺陷减少方面存在局限性.
- 提高光取效率是迷你LED性能的关键.
研究的目的:
- 引入和评估基于InGaN的绿色迷你LED的纳米印花图案蓝宝石与基阵列 (PSSA).
- 调查PSSA对晶体质量和缺陷密度的影响.
- 评估光输出功率 (LOP) 和外部量子效率 (EQE) 的性能提升.
主要方法:
- 在传统PSS和新型PSSA上制造迷你LED.
- 进行X射线衍射 (XRD) 测量以量化线程位移密度 (TDD).
- 测量光输出功率 (LOP) 和外部量子效率 (EQE) 的光学特征.
- 三维 (3D) 有限差异时间域 (FDTD) 模拟用于光提取分析.
主要成果:
- 与PSS相比,PSSA显著降低了与PSS相比,GaN表轴层中的线程位移密度.
- 与PSS上的迷你LED相比,PSS上的迷你LED显示出更好的LOP (6.8mW与10mA的6.0mW相比) 和EQE (47%与41%相比) 与PSS上的迷你LED相比.
- 3D FDTD 模拟证实,PSSA 增强了从活性区域中提取光的效果.
结论:
- 纳米印制PSSA是一种有效的基质,可以提高绿色InGaN迷你LED的效率.
- PSSA技术为开发用于全彩显示的高性能迷你LED提供了可行的途径.
- 这种方法可以扩展到红色和蓝色的迷你LED,从而实现全彩显示应用.


