概括
索利顿微能够使用合成波长干扰计进行高精度的距离测量. 这种新的系统实现了纳米级距离精度,非常适合卫星形成飞行和先进制造.
科学领域:
- 光学和光子学 在光学和光子学.
- 计量学 计量学 计量学
- 纳米技术 纳米技术
背景情况:
- 索利顿微提供超高的重复率和芯片集成的可扩展性,使它们成为精确测量的吸引力.
- 干涉测量技术对于高精度的距离测定至关重要.
研究的目的:
- 为了证明绝对距离的测量,使用基于单子微的合成波长干扰仪.
- 评估开发系统的距离精度和稳定性.
主要方法:
- 通过注射锁定稳定单子微组的重复率 (48.98 GHz),以实现次赫兹波动.
- 实现合成波长干扰测量来确定绝对距离.
- 与参考激光干扰仪进行比较以进行验证.
主要成果:
- 达到测量距离高达64毫米,残留值低于2.7微米.
- 证明了长期稳定性,最小的艾伦偏差低至56.2nm.
- 成功追踪了3毫米的动态运动,速度高达100毫米/秒.
结论:
- 开发的系统代表了第一个基于微的合成波长干扰仪用于距离测量.
- 该系统实现了纳米级距离精度,显示了在卫星形成飞行,高端制造和微纳米处理中的应用的巨大潜力.


