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Updated: Jul 19, 2025
08:14
Atom Probe Tomography Analysis of Exsolved Mineral Phases
Published on: October 25, 2019
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制造原子探头断层扫描样本使用联合和虹聚焦离子束削方法
Frances I Allen1,2, Paul T Blanchard3, Russell Lake3
1Department of Materials Science and Engineering, UC Berkeley, Berkeley, CA 94720, USA.
概括
原子探头断层扫描样本准备的新双离子束方法使用离子进行最终的尖端成型,防止污染,提高各种材料的分析可靠性.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 分析化学 分析化学
- 纳米技术纳米技术
背景情况:
- 聚焦离子束 (FIB) 研磨对于为原子探头断层扫描 (APT) 准备样本至关重要.
- 离子束是常规使用的,但可能会导致污染和文物.
- 可靠的APT分析需要原始的样本表面不受离子束诱导的损伤.
研究的目的:
- 为APT引入和验证一种新的双离子束 (和) 样本准备技术.
- 为了减轻污染,提高APT分析的精度.
- 扩大适用于可靠APT表征的材料范围.
主要方法:
- 使用聚焦离子束 (FIB) 系统进行样本准备.
- 使用双离子方法:使用离子束进行初始研磨,然后使用离子束进行最终尖端成型.
- 在-合金和/氧化道连接样本上测试了该方法.
主要成果:
- 双离子方法成功生产了没有污染的原子探头.
- 离子束的塑造避免了与离子相关的植入,扩散和脆化问题.
- 测试样品的组合分析显示了更好的准确性和可靠性.
结论:
- 和离子离子束的结合方法在APT样品准备方面取得了重大进展.
- 这种技术提高了APT分析的可靠性,特别是对于对污染敏感的材料.
- 该方法将APT的适用性扩展到更广泛的材料.
