在模拟光学实验中探索含有有机化合物的演变
Paige Jacob1, Damian E Helbling1
1School of Civil and Environmental Engineering, Cornell University, Ithaca, New York 14853, United States.
Environmental science & technology
|August 17, 2023
概括
光刻材料中的有机化合物是废水中和多基物质 (PFAS) 的潜在来源. 然而,这些化合物在模拟制造过程中发生了有限的转化,PFAS只解释了总量的很小一部分.
科学领域:
- 环境化学环境化学
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 化学工程是化学工程的重要组成部分.
背景情况:
- 电子制造使用含有有机化合物的光刻材料.
- 这些化合物是废水中和多基物质 (PFAS) 的潜在来源.
- 这些有机化合物在制造过程中的确切身份和转化在很大程度上是未知的.
研究的目的:
- 在光刻材料中识别和量化有机化合物.
- 在模拟电子制造过程中调查潜在的PFAS形成和转化.
- 评估这些材料对废水中PFAS污染的贡献.
主要方法:
- 采购和表征五种商业光刻材料 (光电阻和顶部反射涂层).
- 在材料中的总 (TF) 和目标/可疑PFAS的量化.
- 模拟的光成像实验,以诱导转化反应.
- 使用质量平衡和PFAS识别 (目标,可疑和非目标) 来分析废水样本.
主要成果:
- 光电阻剂和顶部反射涂层含有高度的总 (TF).
- 鉴定到的PFAS只占光刻材料中的TF的20%.
- 模拟制造导致有限的转化,PFAS解释了废水中不到1%的额外TF.
结论:
- 光刻材料含有大量的,但已知的PFAS只是一个次要组成部分.
- 在模拟制造过程中,有机化合物的转化是有限的.
- 来自这些特定光刻材料的PFAS对废水中的总体含量贡献极小.
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