对于半导体应用的氧化基膜的原子层沉积-前体和操作条件的影响
Vladyslav Matkivskyi1, Oskari Leiviskä2, Sigurd Wenner3
1Department of Materials Science and Engineering, Norwegian University of Science and Technology, Alfred Getz vei 2B, 7034 Trondheim, Norway.
Materials (Basel, Switzerland)
|August 26, 2023
概括
这项研究探讨了使用两个前体进行太阳能电池被动化的氧化 (TiOx) 膜. 和氧化 (AlOy) 集成显著改善了被动化和降低了电阻.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 太阳能光伏发电是如何实现的
- 薄膜沉积的情况
背景情况:
- 氧化 (TiOx) 薄膜对于太阳能电池中的接触材料被动化至关重要.
- 原子层沉积 (ALD) 提供精确控制薄膜特性.
研究的目的:
- 评估Tetracis (二甲基胺) (TDMA-Ti) 和四化 (TiCl4) 前体,用于TiOx沉积.
- 研究沉积后回火和氧化 (AlOy) 集成对TiOx被动化特性的影响.
主要方法:
- 原子层沉积 (ALD) 用于沉积TiOx薄膜.
- 在相似的沉积温度 (150°C) 上对TDMA-Ti和TiCl前体进行比较分析.
- 研究沉积后回火效应和AlOy/TiOx堆性能.
主要成果:
- 无论是TDMA-Ti还是TiCl4都是适合在150°C下进行TiOx沉积的前体.
- 沉积后化提高了少数载体的寿命 (τeff) 超过200μs.
- 氧化 (AlOy) 与TiOx的整合使板材阻力降低了40%.
结论:
- 优化的TiOx薄膜使用化和AlOy集成显示太阳能电池应用的希望.
- AlOy/TiOx堆的被动化质量取决于前体选择和沉积周期比率.
