对大孔电磁MEMS微镜振动隔离器的实验调查
Lei Qian1,2, Yameng Shan1,2, Junduo Wang1,2
1School of Nano-Tech and Nano-Bionics, University of Science and Technology of China, Hefei 230026, China.
Micromachines
|August 26, 2023
概括
一种新的机械低通波器 (LPF) 有效地将微电机系统 (MEMS) 微镜隔离出有害的振动. 这种振动隔离器显著减少了自动驾驶汽车系统中关键组件的压力.
科学领域:
- 机械工程 机械工程
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 机器人技术 机器人技术 机器人技术
背景情况:
- 微电机系统 (MEMS) 微镜对于自动驾驶汽车的光检测和距离测定 (LiDAR) 是至关重要的.
- 车辆的振动可能会损坏MEMS微镜的微妙曲,影响系统的可靠性.
研究的目的:
- 设计和验证机械低通波器 (LPF) 作为MEMS微镜的振动隔离器.
- 为了减轻环境振动的影响,特别是Z方向共振 (活塞模式).
主要方法:
- 理论计算和模拟来分析微镜上的振动效应.
- 使用柏铜合金的特定LPF的设计.
- 利用芯片上的压力复杂传感器和定制的测试设置进行验证.
主要成果:
- 模拟确定了Z方向活塞模式共振作为一个关键故障点.
- 在10g振动下,LPF将传感器输出从70.42mV降至35.9mV,达到0.51衰减比.
- 在活塞模式振动期间,证明了对微镜的有效减压.
结论:
- 拟议的机械LPF是保护MEMS微镜免受有害振动的可行解决方案.
- 这种振动隔离技术提高了自动驾驶汽车LiDAR系统的耐用性和可靠性.
