基于PZT板电容检测的MEMS加速传感器的结构设计
Min Cui1, Senhui Chuai2, Yong Huang3
1Shanxi Key Laboratory of Information Detection and Processing, North University of China, Taiyuan 030051, China.
Micromachines
|August 26, 2023
概括
这项研究开发了一种新的电容加速度传感器,可靠地检测弹头过载信号,这对于精确的层爆炸至关重要. 自动供电的传感器为入侵检测应用提供高输出和低干扰.
科学领域:
- 机械工程 机械工程
- 传感器技术 传感器技术
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 在高速入侵过程中,弹子烟过载信号可能不可靠,这会影响引爆的准确性.
- 现有的传感器可能在复杂的冲击环境中难以识别信号.
研究的目的:
- 开发和验证一种新的电容加速度传感器,用于检测弹头过载信号.
- 为了确保可靠的信号识别,准确的弹头层引爆.
主要方法:
- 一个三极板双电容加速传感器是基于电容传感原理设计和制造的.
- 进行了模拟模拟 (COMSOL 6.1) 和机械冲击分析 (ANSYS/LS-DYNA).
- 传感器的性能在各种过载条件下使用马切特子测试进行了测试.
主要成果:
- 制造的陶电容传感器显示出合理的结构和可靠的振动信号接收.
- 传感器表现出自动供电输出,高输出电压振幅,低虚假干扰.
- 数字模拟准确地模拟了不同过载下的弹子入侵和传感器响应.
结论:
- 开发的电容加速度传感器有效地解决了在高速射弹入侵中识别烟过载信号的挑战.
- 该传感器显示出在入侵计层中工程应用的巨大潜力,提高了弹子的安全性和有效性.


