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Updated: Jul 18, 2025
08:35
Hybrid Printing for the Fabrication of Smart Sensors
Published on: January 31, 2019
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电气动力学印刷超微 AgNPs 薄膜温度传感器阵列用于高分辨率传感
Yingping He1, Lanlan Li1, Zhixuan Su1
1Department of Mechanical and Electrical Engineering, Xiamen University, Xiamen 361005, China.
Micromachines
|August 26, 2023
概括
电动力学 (EHD) 打印使得超微薄膜温度传感器阵列具有10微米以下的特征. 传感器3显示出极好的线性 (0.99994) 和TCR为937.8ppm/°C.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 纳米技术 纳米技术
- 传感器技术 传感器技术
背景情况:
- 传统的薄膜传感器制造方法,如幕印刷,喷墨印刷和MEMS在实现10微米以下的线宽方面存在局限性.
- 这种限制阻碍了高级应用所需的高密度传感器阵列的制造.
研究的目的:
- 提出并展示一种新的方法,用于准备超微薄膜温度传感器阵列,仅使用电动力学 (EHD) 打印.
- 为了实现线宽小于10微米和高传感器密度的图案片.
主要方法:
- 利用电动力学 (EHD) 打印来制造一个超微薄膜温度传感器阵列.
- 在450μm × 450μm区域内集成了四个传感器,实现线宽小于10μm和薄膜厚度为150-230nm.
- 描述了白银纳米粒子导电网络的孔隙性 (0.86%) 和传感器性能在17小时的耐温测试中.
主要成果:
- 在四个制造的传感器中观察到显著的性能差异.
- 传感器3表现出卓越的性能,装配线性为0.99994,温度阻力系数 (TCR) 为937.8 ppm/°C,温度在20°C至120°C之间.
- 在17小时的测试后,在20°C下记录了0.17%的低阻力变化率,表明稳定性良好.
结论:
- 电动力学 (EHD) 打印是一种可行的技术,用于制造高密度,超微薄膜温度传感器阵列.
- 开发的方法允许精确控制传感器尺寸和材料沉积.
- 传感器3的性能凸显了EHD打印传感器在精确温度监测应用中的潜力.
