半导体工业废弃溶剂的检测方法和常见特征
Jinjuan Ni1, Qing Zhang2,3, Xianglin Zhang3
1School of Resource and Environmental Engineering, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China.
Molecules (Basel, Switzerland)
|August 26, 2023
概括
开发了一种新的兼容分析方法,用于从薄膜晶体管液晶显示器 (TFT-LCD) 生产中废弃的有机溶剂. 这种方法通过准确分析复杂的溶剂组成,提高了有机溶剂回收的效率.
科学领域:
- 分析化学 分析化学
- 环境化学环境化学
- 材料科学 材料科学 材料科学
背景情况:
- 来自TFT-LCD生产的废弃有机溶剂由于大量,多种类型和复杂的成分而带来了挑战.
- 有效的回收策略需要对这些废物流进行统一和兼容的组件分析方法.
研究的目的:
- 设计和验证一种兼容的分析方法,用于对来自TFT-LCD制造的废弃有机溶剂进行全面分析.
- 建立一种可靠的方法来确定废弃有机溶剂中的水分,有机化合物和固体残留物 (光电阻).
主要方法:
- 开发了一种多元组件分析策略,将Karl Fischer对湿度的定位,气相色谱 (GC) 与有机化合物的火焰电离探测器 (FID) 结合起来,以及对固体残留物分析的蒸发.
- 利用特定的GC条件 (CP-Sil8CB列,温度程序) 和内部和外部标准方法进行有机成分的定量分析.
- 验证了分析方法的准确性和精度,报告相对标准偏差和恢复率.
主要成果:
- 开发的方法准确量化了复杂的TFT-LCD废物有机溶剂中的水分,有机化合物和固体残留物.
- 气相色谱分析显示了良好的准确性,相对标准偏差在0.61%至4.74%之间.
- 有机化合物的回收率很高,从95.23%到107.70%不等,外部标准方法表现优越.
结论:
- 该研究提出了一个针对TFT-LCD废弃有机溶剂的优化和兼容的分析策略.
- 已确定的方法为了解废弃物溶剂成分提供了可靠的方法,这对于提高回收效率至关重要.
- 这项工作为加强工业有机溶剂废物的回收和管理提供了有价值的框架.
