微电池与薄膜电子产品的集成,以构建基于InGaZnOO的集成透明微系统
Bin Jia1, Chao Zhang1, Min Liu1
1Key Laboratory of MEMS of the Ministry of Education, School of Integrated Circuits, Southeast University, Nanjing, 210096, China.
Nature communications
|September 1, 2023
概括
研究人员使用氧化 (InGaZnO) 整合了透明的能源,电子和传感器件. 这种单一的微系统展示了协作功能,推进了透明的电子功能.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 电子工程 电子工程
- 储能 储能 储能 储能 储能 储能
背景情况:
- 透明的电子设备需要集成的功率,逻辑和传感功能.
- 氧化 (InGaZnO) 具有适用于透明设备制造的多功能特性.
研究的目的:
- 开发一种结合储能,薄膜晶体管和光电探测器的单体集成透明微系统.
- 利用InGaZnO的多功能特性制造透明微系统的所有组件.
主要方法:
- 使用InGaZnO作为阳极制造透明的离子电池.
- 基于InGaZnO的薄膜晶体管用于逻辑操作的开发.
- 创建一个基于InGaZnO的光探测器用于光传感.
- 将这些设备集成到一个单一的单一透明微系统中.
主要成果:
- 透明的离子电池实现了大约9.8 μAh cm-2.2 的容量.
- InGaZnO薄膜晶体管的移动性为23.3 cm2 V−1 s−1.
- InGaZnO光电探测器的响应率为0.35 A/W.
- 通过由集成电池供电的薄膜晶体管整流器和光电探测器操作成功演示了芯片上的交流信号充电.
结论:
- 使用InGaZnO.成功构建了一个完全集成的透明微系统.
- 微系统在其能量,电子和传感组件之间展示了协作功能.
- 这项工作推动了多功能透明电子系统的发展.
