使用单源前体制造无形碳混合膜
Aileen Sauermoser1, Thomas Lainer1, Andreas Knoechl1
1Institute of Inorganic Chemistry, Graz University of Technology; Stremayrgasse 9/V, 8010 Graz, Austria.
Inorganic chemistry
|September 13, 2023
概括
研究人员使用液相沉积 (LPD) 和新型单源前体开发了无形碳薄层材料. 这种方法允许在得到的碳膜中调节碳含量和带隙.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 薄膜技术 薄膜技术
- 纳米技术纳米技术
背景情况:
- 无形-碳 (a-SiC) 混合薄膜对于各种电子和光学应用至关重要.
- 为a-SiC薄膜沉积开发具有成本效益和可调节的方法仍然是活跃的研究领域.
- 单一来源的前体提供了一条精确控制薄膜组成和特性的途径.
研究的目的:
- 使用液相沉积 (LPD) 工艺合成无形碳混合薄层材料.
- 调查基于LPD的a-SiC薄膜制造新型单一来源前体的有效性.
- 探索沉积的a-SiC薄膜中的碳含量和带隙的可调性.
主要方法:
- 使用了四种新型的单源前体:甲基异四,三甲基异四,异四和环四.
- 使用紫外线光 (λ = 365 nm) 作为催化剂的新西兰寡合物 (NPO) 的寡合化前体.
- 通过旋转涂层沉积薄膜,优化溶液和工艺条件.
- 使用UV/vis光谱,光显微镜,光谱圆测量,XPS,SEM和SEM/EDX的特征性电影.
主要成果:
- 通过LPD成功制备了无形碳薄层材料.
- 证明了新型前体的成功寡合化.
- 证实a-SiC薄膜的碳含量和带隙可以通过选择不同的单源前体来调整.
- 综合材料表征提供了对薄膜特性的见解.
结论:
- 使用新型单一来源前体的LPD工艺是生产可调节无形碳薄膜的有效方法.
- 前体的选择极大地影响了所产生的薄膜的碳含量和带隙.
- 这种方法为为特定应用量身定制a-SiC材料提供了一种多功能途径.
