牛顿环干涉测量应用用于2D镜头阵列对齐与微米精度的微米精度

Applied optics
|September 14, 2023
PubMed
概括

使用牛顿环干扰计 (NRI) 的新方法精确地对准二维 (2D) 镜头阵列. 这种技术达到微米准确度,克服了先进光学系统连贯光束组合的挑战.