概括
数字全息提供了微观结构的非侵入性测量. 一种新的基于阶段的方法优化了重建距离,显著提高了模拟和实验中的步骤高度精度.
科学领域:
- 光学和光子学 在光学和光子学.
- 计量学 计量学 计量学
- 显微镜的使用方法
背景情况:
- 数字全息提供了对微观结构至关重要的非侵入性全场测量.
- 重建距离的不确定性会导致模糊和扭曲,限制准确性.
- 堆叠芯片微结构的准确表征需要精确的计量学.
研究的目的:
- 开发一种基于相位的重建优化方法,用于数字全息.
- 为了提高测量堆叠芯片微结构的准确性.
- 在全息测量中克服重建距离不确定性的局限性.
主要方法:
- 建议使用相位评估函数和表面特征化模型进行基于相位的重建优化.
- 实现了切片数值重建,以在定义的距离范围内获得相位信息.
- 优化了重建距离,通过通过函数极限识别焦平面.
主要成果:
- 模拟表明了拟议方法在重建和表征方面的有效性.
- 使用标准分辨率目标的实验验证显示了显著的改善.
- 实现了31.16% (模拟) 和34.41% (实验) 的步骤高度表征准确度的改进.
结论:
- 基于阶段的重建优化方法有效地解决了重建距离的不确定性.
- 这种方法提高了微观结构计量学数字全息的准确性.
- 该方法显示了用于精确测量微观特征的实际应用.
