开发基于微流体芯片流量计的恒压系统,用于分析不可蒸发的获取器的吸附性能
1School of Mechanical Engineering, Hefei University of Technology, Hefei, 230009, China.
Analytica chimica acta
|September 14, 2023
概括
一种新的微流体芯片流量计为非蒸发性Getter (NEG) 测试提供稳定的摄入量. 这提高了准确性,并简化了在真空应用中评估NEG性能的系统.
科学领域:
- 真空技术是真空技术的一种.
- 材料科学是一种材料科学.
- 微电子机械系统 (MEMS) 是指微电子机械系统.
背景情况:
- 是一种影响MEMS设备性能的残留气体.
- 非蒸发性获取器 (NEGs) 吸附,但标准测试方法缺乏准确性.
- 当前恒压测试系统使用原始流量控制,限制了结果的可靠性.
研究的目的:
- 为恒压测试系统开发稳定的吸入流量方法.
- 为了提高非蒸发性获取器 (NEG) 测试的准确性和可靠性.
- 用一种新系统评估NEGs的吸附性能.
主要方法:
- 使用微流体芯片流量计的恒压系统的演示.
- 微流体芯片具有~100nm高度的微通道和高真空密封 (<1 × 10-13 Pa·m3·s-1).
- 流量计电导度为10-12m3s-1的,分子流量的上限压力为10-5Pa.
主要成果:
- 该系统控制了从10-11到10-7Pa·m3·s-1的摄入流.
- 在各种压力和温度下测试了Zr-Fe获取器吸附能力.
- 观察到H2的明显吸附和H2O,CO和CO2的部分吸附.
结论:
- 微流体芯片流量计为准确的NEG测试提供稳定的分子流量.
- 在高压下,微小的流速简化了测试系统,使得吸附能力差的获取器受益.
- 这一进步对对非蒸发式获取器的工业研究具有积极意义.
