概括
微电子机械系统 (MEMS) 执行器精确地对准光子集成电路的化 (SiN) 波导. 这项技术可以实现高效的光合,并显示了光学开关应用的潜力.
科学领域:
- 光子学 是一个光子学.
- 微电子机械系统 (MEMS) 是一种微电子机械系统.
背景情况:
- 光子集成电路 (PIC) 的高效集成在很大程度上依赖于精确的对齐.
- 微电子机械系统 (MEMS) 执行器为实现这一关键对齐提供了一个有希望的解决方案.
研究的目的:
- 开发和演示用于调整化 (SiN) 波导的MEMS定位执行器.
- 为了使SiN波导在芯片内或对激光器和放大器等主动光学元件进行对齐.
主要方法:
- 设计和实施MEMS执行器,用于精确定位波导.
- 利用悬浮的SiN波导在一个在绝缘体上的晶圆上进行水平移位.
- 通过关闭悬浮和固定波导之间的初始间隙来证明光合.
主要成果:
- 实现了悬浮SiN波导的横向位移超过±2μm.
- 当波导线对齐,间隙关闭时,获得了平均插入损失为-1.6 ± 0.06 dB.
- 报告的最大平均损失约为 -19.00 ± 0.62 dB,在关闭间隙时侧移 ±2 μm.
结论:
- 开发的MEMS定位执行器可以有效地对准SiN波导.
- 这项技术促进了PIC中高效的光合,并有可能实现主动芯片对齐.
- 执行器也可以应用于光学开关功能.
