概括
研究人员在化平台上开发了一种16通道光学相位阵列. 这种光子集成电路实现了精确的光束转向,具有狭窄的光束宽度和广泛的转向范围,从而实现了先进的光学应用.
科学领域:
- 光子学是指光子学的使用方法.
- 集成光学 集成光学 集成光学
- 半导体设备 半导体设备
背景情况:
- 光学相位阵列 (OPA) 对于光束转向应用至关重要.
- 甲 (GaAs) 是高性能光子集成电路的关键材料.
- 低复杂度的制造工艺对于可扩展的OPA生产至关重要.
研究的目的:
- 在GaAs光子集成电路上制造和描述一个16通道的光学相位阵列.
- 为了评估阵列内的相调节器的性能.
- 为OPAs展示一种低复杂度的制造方法.
主要方法:
- 在GaAs平台上使用低复杂度的工艺制造一个16通道的OPA.
- 使用 1064 nm 外部激光源测试 OPA.
- 阶段调节器性能的表征,包括电光带宽和调节效率.
主要成果:
- 实现了0.92°的光束宽度和15.3°的无格子叶转向范围.
- 证明侧叶水平为12dB.
- 阶段调节器的直流功耗<5μW,带宽>770MHz.
- 在测试波长 (9801360 nm) 中,调制效率 (Vπ·L) 从0.5 V·cm到1.22 V·cm不等.
结论:
- 开发的GaAs OPA在低复杂度的制造工艺中展示了出色的光束转向能力.
- 集成相调节器在功耗,带宽和调节效率方面提供了高性能.
- 这项工作为高效和可扩展的光学相位阵列系统铺平了道路.
