闪光分析:全场无透镜采集光谱全息图,用于连贯扫描分析分析
Optics express
|September 15, 2023
概括
闪光分析,一种新的无镜头3D表面造型方法,使用光谱全息图以获得数百微米的纳米精度. 这种技术为传统的白光干扰测量 (WLI) 提供了更快,更强大的替代方案.
科学领域:
- 光学计量学 在光学计量学
- 表面科学是一门学科.
- 全息影像的使用方法.
背景情况:
- 传统的白光干扰计 (WLI) 在速度,稳定性和系统复杂性方面面临限制.
- 无透镜光学测量系统在紧性和免疫力方面具有优势.
研究的目的:
- 为了引入和验证闪光形计,一种新的无镜头3D表面形技术.
- 为了证明系统对高精度表面计量学的能力.
主要方法:
- 获得全场无镜头光谱全息图.
- 相互连贯函数的光谱采样.
- 连贯函数的数值传播用于3D表面重建.
主要成果:
- 在低纳米范围达到精度.
- 轴的测量范围为几百微米.
- 证明了对抗振动和机械扭曲的强度.
结论:
- 闪光分析仪提供了一个紧的,轻量级的,和分散免疫的3D表面造型解决方案.
- 该方法比传统的WLI更快,更稳固,适合生产环境.
- 应用包括表面计量学,光学检查和材料科学.


