使用接口工程的高响应性和宽带MoS2光电探测器
Chenglin Wang1, Qianqian Wu1, Yang Ding1
1Engineering Research Center of IoT Technology Applications (Ministry of Education), Department of Electronic Engineering, Jiangnan University, Wuxi 214122, China.
ACS applied materials & interfaces
|September 20, 2023
概括
研究人员开发了一种新的MoS2/光探测器,可以实现高响应性和广泛的光谱范围. 这一突破克服了以前设计的局限性,为光检测应用提供了更高的性能.
科学领域:
- 材料科学 材料科学 材料科学
- 光电学是指光电子产品.
- 半导体物理 半导体物理
背景情况:
- 将二硫化 (MoS2) 与技术相结合,是高性能光电探测器的关键.
- 现有的MoS2/光探测器难以同时实现高响应性,快速响应和广泛光谱检测.
研究的目的:
- 开发一个宽光谱的n型MoS2/p型异质连接光探测器,以提高性能.
- 研究SiO2介电层预处理对光探测器特性的影响.
主要方法:
- 一个n型MoS2/p型异质连接光探测器的制造.
- 在基板上使用软等离子体对SiO2介电层进行预处理.
- 描述光探测器的响应能力,响应时间和光谱检测范围.
主要成果:
- 预处理的SiO2介电层和基板形成了具有高载体度和响应能力的多层异构结构.
- 莫斯2/光探测器在637nm时表现出4.05 × 10^4 A/W的响应率,功率密度为2μW/mm^2.2.
- 该设备显示了从447nm到1600nm的广泛可检测的光谱范围.
结论:
- 开发的MoS2/异质连接光探测器克服了以前的局限性,提供了高响应性和广泛光谱检测.
- 软等离子体预处理方法是多用途的,适用于其他n型过渡金属二甲基化物 (TMDC),如MoTe2和ReS2.


